EV集團（EVG）是面向MEMS，納米技術和半導體市場的晶片鍵合機（晶圓鍵合機）和光刻設備（含納米壓印設備）的領先供應商，今天宣布，它已與全球領先的技術集團之一的肖特（SCHOTT）合作在特種玻璃和玻璃陶瓷領域，證明了300毫米（12英寸）納米壓印光刻技術（NIL）已準備好用于制造波導/光的高折射率（HRI）玻璃晶片的大量圖案下一代增強/混合現實（AR / MR）耳機指南。

       此次合作涉及EVG公司專有的SmartNIL ®納米壓印工藝和SCHOTT的RealView?高折射率玻璃晶片，并且將EVG的NILPhotonics內開展®在公司的總部設在奧地利的能力中心。肖特將在9月4日至7日在深圳會議中心舉行的中國國際光電博覽會（CIOE）上展示采用EVG的SmartNIL納米壓印技術制成圖案的300毫米肖特RealView?玻璃晶圓。

       “擴大規模到300毫米的高折射率玻璃晶圓制造對于實現規模經濟至關重要，這是我們的客戶需要滿足當今和未來領先的AR / MR設備不斷增長的市場需求的規模經濟的關鍵。”肖特公司增強現實技術負責人Ruediger Sprengard。“通過雙方的共同努力，EVG和肖特正在展示當今300毫米HRI玻璃制造的設備和供應鏈準備情況。”

       迄今為止，使用NIL圖案化具有光子學應用結構的玻璃基板的方法僅限于200毫米基板。向AR / MR頭戴式耳機進入大眾消費市場和工業市場的重要一步是向300毫米晶圓加工的過渡。然而，在這些較大的基板上維持高基板質量和工藝均勻性是難以控制的，并且需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術是解決納米圖案需求的多年研究，開發和現場經驗的結果，并且經過實踐證明，可以輕松地從芯片級樣品尺寸一直擴展到大面積基板。去年6月，EVG推出了HERCULES NIL 300 mm（納米壓印設備），該公司將SmartNIL納米壓印設備帶入300毫米制造領域，以支持多種設備和應用的生產需求，包括用于AR，MR和虛擬現實（VR）耳機的光學設備，以及3D傳感器，生物醫學設備，納米光子學和等離子體。

       Markus說：“ EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為NIL供應鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個開放式創新孵化器，以與EVG合作，以縮短創新型光子設備和應用的開發周期并縮短產品上市時間。” Wimplinger是EV Group的企業技術開發和IP總監。“我們很高興與SCHOTT之類的公司合作，展示EVG的NIL解決方案的價值，不僅可以促進新技術和工藝的開發，還可以加快其進入大眾市場的速度。我們正在與SCHOTT進行的這項最新工作證明了NIL設備和工藝的成熟，并為各種令人興奮的基于光子學的新產品和應用的300毫米制造奠定了基礎。”

       肖特RealView?高折射率玻璃晶圓是領先的AR / MR器件的關鍵組件，可批量生產。該產品組合提供高達1.9的折射率，從而使深沉的AR / MR應用具有高達65度的更寬視野。經過與AR硬件制造商合作的多年研發，肖特于2018年推出了第一代SCHOTT RealView?。高端產品上市后僅一年，就贏得了享有盛譽的SID Display Industry Award 2019。

       可以從EVG網站上下載白皮書，詳細說明EVG的SmartNIL納米壓印技術對HRI眼鏡和抗蝕劑的好處。

關于肖特

       肖特是特種玻璃，玻璃陶瓷和相關高科技材料領域的領先國際技術集團。該公司擁有130多年的經驗，是許多行業的創新合作伙伴，包括家用電器，制藥，電子，光學，生命科學，汽車和航空行業。肖特在全球34個國家設有生產基地和銷售辦事處，業務遍及全球。在2017/2018財政年度，集團擁有超過15,500名員工，創造了20.8億歐元的銷售額。肖特股份公司的總部位于德國美因茨，由卡爾蔡司基金會全資擁有。這是德國最古老的私人和最大的科學促進基金會之一。作為一家基金會公司，肖特對員工，社會和環境負有特殊責任。

關于EV集團（EVG）

        EV Group（EVG）是制造半導體，微機電系統（MEMS），化合物半導體，功率器件和納米技術器件（納米壓印設備）的設備和工藝解決方案的領先供應商。主要產品包括晶圓鍵合，薄晶圓加工，光刻/納米壓印光刻（NIL）納米壓印設備和計量設備，以及光刻膠涂布機，清潔劑和檢查系統。成立于1980年的EV Group服務于復雜的全球客戶和合作伙伴網絡，并為其提供支持。

       SmartNIL ® ，NILPhotonics ® 和EV集團徽標是EV Group的注冊商標，而肖特的RealView?是SCHOTT的注冊商標。