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光刻鍵合設備選型圖，整理自官網架構。2019年數據。

納米壓印-手冊（英文原版），來源于EVG官網

EVG?501 / EVG?510 / EVG?520 IS 是用于研發的鍵合機。

EVG600系列光刻機中文說明，翻譯自EVG官/方資料。

EVG500系列產品資料中文版，翻譯自EVG官/方資料。

EVG610 / EVG?620 NT / EVG?6200 NT / IQ Aligner / IQ Aligner? NT...