國際杰出的化工原料生產商選定岱美為供貨商, 為其下電子材料技術中心提供 FEI Dual Beam System (SEM/FIB)。
FEI把最新的FIB和電子光學技術融為一體, 并結合獨特的環境掃描電鏡(ESEM)技術, 為用戶帶來更大的應用靈活性和通用性。
設備主要特點:
- FIB最大束流達到65nA,FIB加工速度大幅度提高
- 電子光學技術最大束流200nA, 分辨率1.2nm, 同時滿足高分辨和能譜/EBSD/波譜分析功能
- 環境掃描(ESEM)技術,可觀察所有樣品; 支持所有環境掃描電鏡附件(如加熱臺)
- 大樣品室可安裝各種附件和微操控系統
- 最新軟件技術, 如AutoTEM G2, 三維重構軟件等
- 基于Windows XP的系統控制軟件, 最佳的用戶接口