分析磁膜性能對磁傳感器的設(shè)計和生產(chǎn)至關(guān)重要,WLA-3000自動晶圓液位分析儀可以與各種行業(yè)標準的自動晶圓探針集成,以表征成品器件或測試結(jié)果(包括橋接配置)的磁性能。
使用ISI高場平面四級磁體,WLA-3000可以在執(zhí)行各種磁傳感器特定測量時應用用戶定義的場矢量。
使用ISI高場垂直磁體,WLA-3000可以應用用戶定義的垂直場來表征最新的磁傳感器垂直設(shè)備。
在磁傳感器生產(chǎn)環(huán)境中,WLA-3000提供高通量器件性能驗證以及對晶圓工藝控制的反饋。磁鐵配置、探針卡和熱卡盤等選項允許客戶根據(jù)其特定需求自定義配置系統(tǒng)。
WLA-3000提供以下特定的磁傳感器測試:
·直流噪聲I/V偏置
·傳輸曲線I/V偏置
·角度傳輸I/V偏置
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