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OptoScan?600 光學粗糙度測試儀

OptoScan?600 光學粗糙度測試儀


X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

OptoScan 600 光學粗糙度測試儀應用：

整體晶圓快速精確檢查

  • 缺陷

  • 粗糙度

  • 波紋度

  • 翹曲

    檢測臺

直線電機 X/Y

700 x 700 (mm)

(Witte) 真空吸盤

帶旋轉攝像頭傳感器

OptoScan 600 光學粗糙度測試儀 檢測結果

扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

Ra values 0.15 μm / Disco Machine.

測量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描（約需 1 小時）


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