再次拿到采購(gòu)【Filmetrics薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)儀F30】的訂單

發(fā)布時(shí)間：2020-05-20

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岱美拿到采購(gòu)Filmetrics薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)儀F30的訂單。客戶是中科院下屬研究院，是集半導(dǎo)體物理、材料、器件研究及其系統(tǒng)集成應(yīng)用于一體的綜合性研究所，該單位擁有多個(gè)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。在國(guó)際上享有一定聲譽(yù)。訂單已于2011年3月份完成。

美國(guó)Filmetrics公司生產(chǎn)的F30薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)儀主要應(yīng)用于動(dòng)態(tài)檢測(cè)，可針對(duì)樣品的沉積速率、n、k值等實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，測(cè)量精度可以達(dá)到1%，動(dòng)態(tài)可以監(jiān)測(cè)100nm以上厚度膜層，客戶可根據(jù)自身需要選擇F30系列不同型號(hào)產(chǎn)品。其中F30波段范圍為380-1050nm，F(xiàn)30-NIR波段范圍為950-1700nm，F(xiàn)30-EXR波段范圍為380-1700nm。

客戶方使用F30主要應(yīng)用于MOCVD上針對(duì)藍(lán)寶石基底樣品進(jìn)行膜層厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。