岱美中國(guó)拿到Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50-UV的訂單。該客戶為國(guó)內(nèi)研究鐵電薄膜領(lǐng)域的頂尖院校，主要研究BaTiO3，BNT，BLT等材料的特性及生長(zhǎng)工藝。F50-UV主要用于研究鐵電薄膜生長(zhǎng)工藝，控制5" 硅片上BNT生長(zhǎng)均勻性，以及研究一些太陽(yáng)能領(lǐng)域使用的導(dǎo)電薄膜，如AZO等。
       F50系列自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)是基于F20薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列的升級(jí)版，具有多點(diǎn)測(cè)試、自動(dòng)檢測(cè)、檢測(cè)速度快、測(cè)量精準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn)，該款設(shè)備波長(zhǎng)范圍為200-1100nm,可檢測(cè)膜層厚度范圍在1nm-40um之間，*大可自動(dòng)測(cè)量12寸硅片，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描，具有2點(diǎn)/秒的快速測(cè)量速度。

       （該系統(tǒng)以于2011年10月交付，安裝和和驗(yàn)收）