岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50-EXR的訂單。該客戶創立于2002年,由國內知 名研究院引進國外先進技術投 資興辦,主營產品為集成電路制造勻膠/顯影設備(即Coater / Developer)。 該公司擁有專業的技術團隊,在引進國際先進技術的基礎上,消化吸收、**提高,擁有多項磚利技術并形成系列產品,包括全自動、手動設備,模組結構,靈活選配等。該公司的產品廣 泛用于光刻、制版、擦片、清洗、濕法刻蝕、優異封裝和各種薄膜旋涂工藝,可滿足Ф200mm、0.25μm前道制程和Ф300mm先進封裝厚膠膜制程。該客戶主要用于測量研究各種光刻膠的厚度及光學常數。
F50-EXR 膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1700nm的可見與紅外光干涉測量,主要應用于硬質涂層等單層或多層膜厚度的測量,操作簡單僅需將樣品放在要測試的位置,就能測出結果,能夠測量15nm-250um范圍的膜厚,準確度高達2nm,可智能化設定坐標,掃描所測樣品的表面厚度分布,是一款性價比很高的膜厚測量設備。(該設備將于今年四月份交付客戶使用)