岱美中國(guó)拿到采購Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF50膜厚儀的訂單（2012.11.2)

發(fā)布時(shí)間：2020-06-23

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該客戶位于北京市順義保稅區(qū),是一家中美合資企業(yè)。公司經(jīng)營(yíng)范圍為:生產(chǎn)微電子材料、半導(dǎo)體原材料檢測(cè)、技術(shù)開發(fā)、銷售自產(chǎn)產(chǎn)品。目前經(jīng)營(yíng)領(lǐng)域：光刻膠、配套試劑的生產(chǎn)與銷售。該公司所處行業(yè)為半導(dǎo)體行業(yè)，一直以來是國(guó) 家重點(diǎn)支持的項(xiàng)目。客戶購買Filmetrics F50主要用來檢測(cè)光刻膠膜層的厚度。

美國(guó)Filmetrics公司生產(chǎn)的F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x是具有自動(dòng)Mapping功能的測(cè)量?jī)x，是基于F20薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列的升級(jí)版，具有多點(diǎn)測(cè)試、自動(dòng)檢測(cè)、檢測(cè)速度快、測(cè)量精準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn)，該款設(shè)備波長(zhǎng)范圍為200-1100nm,可檢測(cè)膜層厚度范圍在1nm-40um之間，zui大可自動(dòng)測(cè)量12寸硅片，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描，具有2點(diǎn)/秒的快速測(cè)量速度。
該設(shè)備目前已經(jīng)驗(yàn)收完成，交付客戶使用。